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摘要:干涉仪是一种精密测量和科研工具,其用途广泛。原理上,干涉仪利用光的干涉现象,通过测量干涉条纹的位移或变化来测量光学元件的表面形状、光学性能等参数。干涉仪具有高精度、高灵敏度、高分辨率等特点,被广泛应用于光学制造...